系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)及性能

1）8英寸半自動(dòng)毫米波射頻探針臺(tái)，寬大的測(cè)試空間，能對(duì)芯片、chip及器件進(jìn)行測(cè)試；?

2）系統(tǒng)可滿足高達(dá)110GHz頻率范圍的雙端口器件芯片測(cè)試要求，并能夠?qū)崿F(xiàn)與指定的擴(kuò)頻模塊很好的搭載和測(cè)量；系統(tǒng)可測(cè)試67G以下雙端口器件；可做四端口直流測(cè)試；?

3）可以實(shí)現(xiàn)通過(guò)軟件對(duì)晶片載臺(tái)X, Y, Z, Theta 四個(gè)方向的移動(dòng)全程控制。設(shè)備控制軟件可以提供自動(dòng)晶片水平校準(zhǔn)，自動(dòng)器件尺寸測(cè)量，自動(dòng)移動(dòng)誤差補(bǔ)償，遠(yuǎn)程控制等自動(dòng)化功能；?

4）載物臺(tái)可被拉出工作臺(tái)98%，便于放置被測(cè)件；且臺(tái)面拉桿可在任意角度停留，方便扎針測(cè)試；

5）載物臺(tái)X-Y方向：1μm (0.04 mils)分辨率、小于2μm 重復(fù)精度、大于50mm/sec的移動(dòng)速度；Z方向：5mm的移動(dòng)范圍、1μm分辨率、小于1μm 重復(fù)精度；Theta方向：轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍+/-5.5度；

6）平坦度誤差優(yōu)于30um；芯片載臺(tái)帶有兩個(gè)獨(dú)立的附加小載臺(tái)，方便放置射頻校準(zhǔn)片；

7）ATT八英寸-60℃到+300℃溫度控制器.

8）溫度控制精確度：±0.1攝氏度；晶片載臺(tái)溫度均勻度小于1%；降溫速度：-60℃到25℃≤7 min；25℃到300℃≤30 min；300℃到25℃≤18 min；25℃到-60℃≤18 min； ?

9）高穩(wěn)定支架的顯微鏡結(jié)構(gòu)，顯微鏡移動(dòng)范圍：2 英寸 X 2 英寸；放大倍率 50 倍到750 倍連續(xù)可變；機(jī)臺(tái)控制器，Window 7/10操作系統(tǒng)，內(nèi)置影像截取卡用于顯示顯微鏡圖像；?

10）配置先進(jìn)的微暗室技術(shù)，確保良好的測(cè)試環(huán)境

11）射頻探針座采用高穩(wěn)定機(jī)械固定方式，精度：手動(dòng); X、Y、Z軸定位精度2um, X、Y軸移動(dòng)范圍：12cm x 12cm；?

12）配套LRRM校準(zhǔn)模式的自動(dòng)射頻校準(zhǔn)軟件；?

13）配套供放置探針臺(tái)使用的重型防震平臺(tái)及真空泵等設(shè)備，系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定；?

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